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電子束梯度熔煉提純多晶硅的方法

1307   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:32:43
本發明一種電子束梯度熔煉提純多晶硅的方法屬于用物理冶金技術提純多晶硅的技術領域,涉及一種利用電子束熔煉技術去除多晶硅中磷和金屬雜質的方法。該方法采用改變電子束束流大小,產生能量大小不同分布,去除揮發性雜質磷的同時實現定向凝固效果。首先取磷和金屬雜質含量高的硅料洗凈、烘干后置于電子束熔煉爐中,然后以高束流電子束完全熔化硅料;此后逐漸降低電子束的束流,在小束流下保溫;關閉束流后冷卻,最后取出硅錠,切去硅錠的頂部得到磷和金屬雜質含量較低的硅錠。本發明去除磷和金屬雜質效果好,采用電子束除磷和定向凝固去除金屬的雙重作用,提高提純效率,減少工藝環節,技術穩定,周期短,節約能源,成本低。
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