權利要求書： 1.一種基于掃描電鏡的自動聚焦方法，其特征在于，包括如下步驟：基于掃描電鏡的各工作高度參數和各聚焦位置預設系數，計算搜索目標聚焦位置對應的初始聚焦焦距；基于預設圖像清晰度閾值、第一聚焦焦距步長、所述目標聚焦位置對應的初始聚焦焦距和聚焦焦距預設調節次數，按照三點趨勢法在所述目標聚焦位置的預設方向上逐步多次調節聚焦焦距并拍攝每次調節聚焦焦距形成的聚焦圖像，直到所述多次調節聚焦焦距形成聚焦圖像對應的圖像清晰度滿足預設條件為止，并記錄最佳圖像清晰度對應的最佳聚焦焦距；按照所述最佳圖像清晰度對應的最佳聚焦焦距，對所述目標聚焦位置進行自動聚焦。2.根據權利要求1所述的基于掃描電鏡的自動聚焦方法，其特征在于，基于預設圖像清晰度閾值、第一聚焦焦距步長、所述目標聚焦位置對應的初始聚焦焦距和聚焦焦距預設調節次數，按照三點趨勢法在所述目標聚焦位置的預設方向上逐步多次調節聚焦焦距并拍攝每次調節聚焦焦距形成的聚焦圖像，直到所述多次調節聚焦焦距形成聚焦圖像對應的圖像清晰度滿足預設條件為止，并記錄最佳圖像清晰度對應的最佳聚焦焦距，包括：基于所述第一聚焦焦距步長、所述目標聚焦位置對應的初始聚焦焦距和所述聚焦焦距預設調節次數，在每次調節聚焦焦距中均按照三點趨勢法記錄所述目標聚焦位置的預設方向上連續拍攝的三張聚焦圖像的圖像清晰度；基于所述連續拍攝的三張聚焦圖像的圖像清晰度，計算第二張聚焦圖像對應的圖像清晰度減去第一張聚焦圖像對應的圖像清晰度得到第一差值；和，計算所述第二張聚焦圖像對應的圖像清晰度減去第三張聚焦圖像對應的圖像清晰度得到第二差值；基于所述聚焦焦距預設調節次數，在每次調節聚焦焦距中均按照三點趨勢法記錄所述目標聚焦位置的預設方向上連續拍攝的三張聚焦圖像的圖像清晰度，直到所述第一差值大于所述預設圖像清晰度閾值，且所述第二差值大于所述預設圖像清晰度閾值時為止，并將所述第二張聚焦圖像對應的圖像清晰度作為最佳聚焦清晰度；獲取所述最佳聚焦清晰度對應的最佳聚焦焦距。3.根據權利要求2所述的基于掃描電鏡的自動聚焦方法，其特征在于，若基于所述多次調節聚焦焦距，在每次調節聚焦焦距中均按照三點趨勢法記錄所述目標聚焦位置的預設方向上連續拍攝的三張聚焦圖像的圖像清晰度，一直不滿足所述第一差值大于所述預設圖像清晰度閾值，且所述第二差值大于所述預設圖像清
聲明：
“基于掃描電鏡的自動聚焦方法及裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：北京中科科儀股份有限公司
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2025年07月23日 ~ 26日 
