權利要求書： 1.一種掃描電鏡背散射探頭的安裝結構，其特征在于，包括：下極靴；第一安裝板，所述第一安裝板與所述下極靴的下表面貼合；第二安裝板，所述第二安裝板可拆卸地安裝在所述第一安裝板上；探頭，所述探頭設在所述第一安裝板和所述第二安裝板之間；彈性件，所述彈性件分別與所述下極靴和所述第一安裝板相連，所述彈性件常驅動所述第一安裝板貼合所述下極靴的下表面。2.根據權利要求1所述的掃描電鏡背散射探頭的安裝結構，其特征在于，所述第一安裝板的下表面和所述第二安裝板的上表面共同限定出定位槽，所述探頭配合在所述定位槽內。3.根據權利要求1所述的掃描電鏡背散射探頭的安裝結構，其特征在于，所述第一安裝板上設有通孔，所述通孔在水平方向上位于所述下極靴的下端面的中心處。4.根據權利要求1所述的掃描電鏡背散射探頭的安裝結構，其特征在于，所述第一安裝板的上表面設有卡槽，所述下極靴的下端卡合在所述卡槽內。5.根據權利要求1所述的掃描電鏡背散射探頭的安裝結構，其特征在于，所述彈性件為拉簧且為兩個，兩個所述拉簧的下端分別與所述第一安裝板的兩端相連且兩個所述拉簧的上端均與所述下極靴相連，兩個所述拉簧的上端與所述下極靴的連接處在所述下極靴的周向上相對。6.根據權利要求5所述的掃描電鏡背散射探頭的安裝結構，其特征在于，所述下極靴上設有兩個掛鉤，所述第一安裝板上設有凸耳，所述拉簧的上端鉤掛所述掛鉤且下端鉤掛所述凸耳。7.根據權利要求1所述的掃描電鏡背散射探頭的安裝結構，其特征在于，所述第二安裝板為用于阻擋和/或吸收電子的絕緣板。8.根據權利要求1所述的掃描電鏡背散射探頭的安裝結構，其特征在于，所述探頭包括探頭主體和電路板，所述第二安裝板上設有避讓口，所述探頭主體從所述避讓口露出。9.根據權利要求1所述的掃描電鏡背散射探頭的安裝結構，其特征在于，所述第二安裝板通過螺紋緊固件安裝在所述第一安裝板上。10.一種掃描電鏡，其特征在于，包括根據權利要求1?9中任一項所述的掃描電鏡背散射探頭的安裝結構。 說明書： 掃描電鏡背散射探頭的安裝結構和具有其的掃描電鏡技術領域[0001] 本實用新型涉及電子顯微鏡技術領域，具體而言，涉及一種掃描電鏡背散射探頭的安裝結構和具有所述掃描電鏡背散射探頭的安裝結構的掃描電鏡。背景技術[00
聲明：
“掃描電鏡背散射探頭的安裝結構和具有其的掃描電鏡” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：管理員
來源：國儀量子(合肥)技術有限公司
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2025年08月05日 ~ 07日 
