本公開涉及電子材料技術領域，具體提供一種二氧化鈦/銀/二氧化鈦透明導電膜及其制備方法與應用。
背景技術：
這里的陳述僅提供與本公開有關的背景信息，而不必然構成現有技術。
隨著科學技術的發展和人民生活水平的不斷提高，高分辨率，大尺寸平面顯示器，太陽能電池，節能紅外反射膜，電致變色窗等廣泛應用，對透明導電薄膜的需求愈來愈大。透明導電薄膜不但要求好的導電性，還要有優良的可見光透光性。從物理學的角度，物質的透光性和導電性是一對基本矛盾。而透明導電薄膜正是將透明性與導電性相結合成為功能材料中具有特色的一類薄膜，在光電產業中具有廣闊的應用前景。為了使材料具有通常所述的導電性，就必須使其費米球的中心偏離動量空間原點，也就是說，按照能帶理論在費米球及附近的能級分布很密集，被電子占據的能級和空能級之間不存在能隙。這樣當有入射光進入時，很容易產生內光電效應，光由于激發電子失掉能量而衰減。所以，從透光性的角度不希望產生內光電效應，就要求禁帶寬度必須大于光子能量。
寬帶透明導電氧化物半導體，要保持良好的可見光透光性，其等離子頻率就要小于可見光頻率，要保持一定的導電性就需要定的載流子濃度，而等離子頻率與載流子濃度成比例。透明導電膜的開發就是基于如何使二者更好的有機統一起來。自從在透明導電氧化物(tco)中第一次發現透光性與導電性可以共存后，新型tco的開發及復合多層膜的設計都是圍繞著這樣一對矛盾體進行的。tco可通過成分調整實現對帶隙結構、載流子濃度和遷移率以及功函數等的控制來使其透光性與導電性矛盾的統一。單一金屬膜由于透光性較差使其應用受到限制，因此，常與高折射率的電介質形成復合多層膜，這樣就將金屬的導電性與消反增透膜的透光性有機的統一起來，后來發展的高折射率tco與金屬的復合也都獲得了很好的透光性與導電性匹配。早期研究根據材料的不同可將其分為金屬透明導電薄膜、氧化物透明導電薄膜(tco)、非氧化物透明導電薄膜及高分子透明導電薄膜。
近幾年來薄膜工藝得到迅猛發展特別是透明導電薄膜方面部分已經實現了工業化生產。自1907年bakdeker將濺射的鎘進行熱氧化首次制備出透明導電氧化鎘薄膜以來相繼出現了sno2基薄膜in2o3基薄膜等不同類型的透明導電薄膜材料，并在眾多領域實現了應用形成了一定的市場規模。其中應用最廣泛的是ito薄膜，但是該薄膜制備過程及應用存在著很大的缺點即in的毒性
聲明：
“二氧化鈦/銀/二氧化鈦透明導電膜及其制備方法與應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：山東省科學院能源研究所
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2025年07月24日 ~ 26日 
