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p型大面積SnTe納米薄膜光電材料及其制備方法

1050   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:02
p型大面積SnTe納米薄膜光電材料及其制備方法，涉及探測器用光電薄膜制備領域，尤其涉及一種p型SnTe納米薄膜光電材料及其制備方法。本發明的方法通過使用SnTe單靶，利用射頻磁控濺射方法，采用較低的靶材功率、無需升高襯底溫度、無需后退火處理即可得到已經晶化的、符合化學計量比的p型二元化合物SnTe納米薄膜材料。本發明制備方法簡單、有效、低能耗，成膜均勻、連續，所得薄膜與基底的粘附性好，并實現了SnTe納米薄膜光電材料的大面積制備。
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