一種制備荷葉類金剛石膜的鍍膜技術,該技術以等離子全方位離子沉積設備為依托,將八氟環丁烷、一甲基硅烷、二甲基硅烷等氣體輸入到真空罐內,通過等離子增強化學氣相沉積方法在工件表面鍍荷葉類金剛石膜。鍍膜主要包括等離子清洗、等離子滲氮、過渡層鍍膜、類金剛石鍍膜、荷葉膜鍍膜等五個步驟。荷葉類金剛石膜具有很高的硬度,由于和荷葉表面有著類似的構造因此具有極低的表面能,鑒于荷葉類金剛石膜的高耐磨和疏水性能,它可以成功應用在煤礦篩網、金屬模具、航空航天飛行器機翼、輸油管道等領域。
聲明:
“荷葉類金剛石膜的鍍膜工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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