本發明公開了一種迭代水熱法提純石英砂的工藝及高純石英砂。所述工藝包括預處理、煅燒、過篩、酸浸和清洗的步驟,其中煅燒和酸浸步驟進行迭代處理。本發明以石英砂精礦為原料,在改進的水熱法基礎上,通過對關鍵步驟的科學迭代處理工藝,對石英砂進行提純,充分發揮了高溫煅燒和水熱酸浸過程對石英砂的純化作用,使雜質去除效益得到最大化。本發明得到的高純石英砂純度不低于99.998%且雜質含量低于20ppm,能滿足半導體行業的使用需求。
聲明:
“迭代水熱法提純石英砂的工藝及高純石英砂” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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