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吸附式碳納米管濕度傳感器及其制作方法

1005   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:11:53
一種基于碳納米管濕度傳感器及制作方法,其包括:一基底;通過熱氧化法或化學氣相沉積法生長于基底表面上的絕緣層;通過光刻/刻蝕法或光刻/剝離法或絲網印刷法制備于絕緣層表面上的由金屬或多晶硅構成的電極對;電極對為平行對電極或梳齒式對電極;梳齒式對電極的梳齒相對放置或梳齒交叉放置;電極對之間和電極對上/下面組裝有碳納米管材料層;組裝方法為電泳組裝方法或流體排布組裝方法或浸泡蒸發法;有益效果:電極對制作屬于標準微加工工藝或絲網印刷工藝,方法簡單;碳納米管結構尺寸小,比表面積大,吸附能力強,且電泳組裝、流體組裝方法或浸泡蒸發法可實現批量生產;該濕度傳感器尺寸小,靈敏度高,線性度好,能用于環境濕度檢測。
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