本發明提供了一種電子級四氟甲烷的純化方法,該方法為:將粗品四氟甲烷原料與甲醇?鋅粉漿料在吸收塔中進行預反應,反應后得到混合氣體,并排出固體廢料;將混合氣體通入脫輕塔中進行一級精餾,脫除輕組分雜質,得到脫輕后混合氣體;將脫輕后混合氣體通入脫重塔中進行二級精餾,脫除重組分雜質,得到電子級四氟甲烷。本發明通過粗品四氟甲烷與甲醇?鋅粉漿料進行預反應,脫除氟化氫和三氟一氯甲烷等雜質,再經一級精餾和二級精餾分別脫除輕組分雜質和重組分雜質,最終得到電子級四氟甲烷。
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“電子級四氟甲烷的純化方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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