本發明公開了一種利用晶硅切割廢砂漿制備碳化硅納米晶須的方法;該方法將晶硅切割廢砂漿和有機溶劑混合攪拌,過濾得到固體廢料;將所述固體廢料烘干,研磨得到原料粉體;將植物纖維通過超聲法清洗干凈并烘干;將原料粉體與處理后所得植物纖維放在放電等離子系統中,控制溫度為1100~1600℃,通過惰性氣體控制壓強為100~800Pa,反應10~40min,制得碳化硅納米晶須并獲得碳化硅磨料。本發明簡化了晶硅切割廢砂漿傳統回收方法中對硅與碳化硅分別提取的復雜工藝過程,且使得晶硅切割廢砂漿能夠直接制備碳化硅納米晶須;本發明在制得碳化硅納米晶須的同時還獲得碳化硅磨料。
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