本發明涉及I TO廢靶材回收技術領域,公開了一種回收I TO廢靶中的銦、錫的生產系統,包括加熱爐、與所述加熱爐連接的冷卻爐;還包括用于輸送氫氣的主氫氣管,所述主氫氣管與所述加熱爐連接;通過加熱爐來提供反應環境,所述主氫氣管向所述加熱爐輸入氫氣,I TO廢靶在所述加熱爐內與氫氣反應生成銦錫合金,銦錫合金經所述冷卻爐冷卻降溫后輸出,通過上述過程可實現I TO廢靶中銦、錫的回收,且生產過程無廢水廢氣產生,后處理成本低。
聲明:
“回收ITO廢靶中的銦、錫的生產系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)