本發明涉及一種四氯化硅加氫脫氯制備三氯氫硅的催化劑的方法,采用氯化亞銅作為活性組成,無定型硅鋁作為催化劑載體。焙燒后的無定型硅鋁粉與一定量的氯化亞銅混合,惰性氣氛下高溫處理,產物冷卻后,即為成品催化劑。該方法制備過程簡單、無廢水、廢氣、廢渣污染。經催化劑評價表明,在反應溫度450℃,壓力1.2MPa,H2/SiCl4(mol)=25,空速1000h-1的工藝條件下,轉化率可達到30%以上,能夠滿足工業化生產要求。
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