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以暴露{001}晶面的銳鈦礦型二氧化鈦納米管陣列為基底的紫外光探測器及方法

854   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-02-25 02:00:03
本發明公開了一種以暴露{001}晶面的銳鈦礦型二氧化鈦納米管陣列為基底的紫外光探測器及方法。紫外光探測器主要由自上而下依次布置的鈦片基底、暴露{001}晶面的銳鈦礦型二氧化鈦納米管陣列和金屬叉指電極組成；清洗鈦片并烘干為基底，在鈦片的基底上表面制作暴露{001}晶面的銳鈦礦型二氧化鈦納米管陣列，再利用光刻、濺射、剝離工藝生長獲得金屬叉指電極，在金屬叉指電極的兩個電極分別點上銀漿，利用銅導線將金屬叉指電極的兩個電極接到電路驅動系統的兩端，得到紫外光探測器。本發明制備獲得了二氧化鈦的{001}晶面，具有更高的活性，本發明紫外光探測器具有高紫外光電響應度和高光暗電流比和光譜響應度。
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