本發明涉及光電探測技術領域,公開了一種鈣鈦礦光電探測器及其制備方法和應用。該鈣鈦礦光電探測器包括依次層疊的基底層(1)、絕緣層(2)、鈣鈦礦活性層(3)以及電極(4);其中,在所述絕緣層(2)的下表面上形成有第一光柵結構;在所述鈣鈦礦活性層(3)的上表面上形成有第二光柵結構;所述第一光柵結構與所述第二光柵結構之間的夾角為0?90°。本發明的制備方法簡單,能夠增強對光的吸收,并且提高鈣鈦礦結晶質量,使得制備的光電探測器具有光電流大,響應速度快,響應度高,探測率高的特點。
聲明:
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