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鈣鈦礦厚膜X射線探測器及其制備方法

740   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-02-25 02:00:02
本發明提供鈣鈦礦厚膜X射線探測器及其制備方法，鈣鈦礦厚膜X射線探測器的特征在于包括：透明導電膜基底、空穴傳輸層、鈣鈦礦厚膜、電子傳輸層、電極，其中，鈣鈦礦厚膜通過真空熱共蒸發法制得，并且位于空穴傳輸層和電子傳輸層之間。制備方法的特征在于：將不同的鈣鈦礦原料分別放入不同的束源爐，并分別加到各自的沸點，同時對基底進行原位加熱，然后進行真空熱共蒸得到鈣鈦礦厚膜。本發明所提供的鈣鈦礦厚膜X射線探測器具有優異的電荷傳輸性能、極快的響應速度、較高的X射線靈敏度和較好的穩定性，并且制備工藝簡單，厚度可調，易于在柔性基底上制備，在醫學成像、航空安檢等領域具有廣泛潛在應用。
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