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自驅動鈣鈦礦光電探測器及其制備方法

1165   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-02-25 02:00:02
本發明公開了一種自驅動鈣鈦礦光電探測器及其制備方法，屬于半導體光電探測器制備技術領域。其制備在于：首先采用金屬熱蒸發工藝，通過掩膜版在玻璃襯底上沉積左側底部金電極，然后利用溶膠凝膠法，在沉積好左側底部金電極的玻璃襯底上形成甲基氨基碘化鉛感光層，最后通過掩膜版在感光層表面制備右側頂部金電極，形成自驅動鈣鈦礦光電探測器。本發明的光電探測器在零伏偏壓下，在可見光波段，能夠將光信號很好的轉化為電信號，表現出良好的自驅動特性。以3mW/cm2的650nm波長光照為例，器件的響應度為10mA/W，探測率為2.9×1011Jones，開關比達到104。且本發明工藝簡單，可明顯降低器件制備成本。
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