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基于Ga2O3/鈣鈦礦異質結的光電探測器及其制備方法

810   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-02-23 20:20:23
本發明涉及一種基于Ga2O3/鈣鈦礦異質結的光電探測器的制備方法，包括：選取半絕緣半透明襯底；在所述襯底表面淀積形成底電極；在所述底電極表面淀積Ga2O3層；在所述Ga2O3層表面旋涂鈣鈦礦層；在所述鈣鈦礦層表面淀積形成頂電極，以完成所述光電探測器的制備。本發明提供的基于Ga2O3/鈣鈦礦異質結的光電探測器，可以探測從深紫外到近紅外的寬范圍光譜；具有較高的響應度和探測率，同時具有低的暗電流密度和高的外量子效率；該探測器結構簡單、效率高、響應快、工作穩定、使用壽命長，生產成本低，無需昂貴的儀器設備等優點。
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