本實用新型公開了一種16寸油擴散泵,包括泵體、泵芯、加熱器、水冷擋板和水冷擋油裝置,泵體內部設置有泵芯,加熱器設置在泵芯的底部,泵體頂部設置有水冷擋板,水冷擋板上設置有水冷擋板法蘭,水冷擋板法蘭上設置有電控箱、吸氣口和觀察窗,觀察窗和電控箱設置在水冷擋板法蘭周邊一側,吸氣口位于水冷擋板法蘭的中部位置,泵體一側底部設置有擴散器,擴散器的上端設置有水冷擋油裝置,水冷擋油裝置包括水冷銅管、擋油片、水冷法蘭和冷阱葉片。該油擴散泵將油擴散泵的整體尺寸縮小至與12英寸的接口尺寸相匹配,滿足了小型真空設備的實際需要,改變了以前需要大量轉接后的不便及浪費,節約了資源,制作更加簡單,性能更加穩定。
聲明:
“16寸油擴散泵” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)