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三重價態鈣鈦礦型錳氧化物薄膜材料及其制備和應用

1114   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-01 00:40:05
本發明屬于薄膜材料技術領域。薄膜組成的通式為La1-x-yMxKyMnO3,其中M=Ca、Sr或Ba,0<x<1,0<y<1,x+y<1。制備方法有下述步驟:(1)水熱法合成靶材。先得到三重價態鈣鈦礦型錳氧化物黑色晶體。將制得的晶體研磨,壓片,燒結,得到所用的靶材。(2)用射頻磁控濺射方法制備薄膜。在常溫下這類薄膜具有p-n結整流性質,因此可以作為獨立器件,在晶體管、集成電路、整流器、激光器以及各種光電探測器件、微波器件、光電轉換器件、量子計算集成器件等方面得到應用。
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“三重價態鈣鈦礦型錳氧化物薄膜材料及其制備和應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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