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鈣鈦礦薄膜的橫向區域熔化再結晶的裝置和方法

1006   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-01 00:40:02
本發明公開了一種對于有機?無機的金屬鹵化物鈣鈦礦及其衍生物的非晶或多晶薄膜材料的結晶和再結晶的裝置和方法，特別是涉及橫向區域熔化再結晶，并應用于鈣鈦礦的非晶或者多晶薄膜，其有利于減少晶疇之間的空隙，消除晶疇間的界面和增大晶疇。裝置中包含輻射源、聚焦和掃描單元、薄膜的氣氛控制環境、薄膜的加熱平臺和前驅體的加熱器等。本發明適用于光伏薄膜、LED顯示器發光薄膜、圖象探測器薄膜和x光圖象探測器薄膜等需要較大面積的鈣鈦礦單晶、準單晶或者較大晶疇的多晶的需要。
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“鈣鈦礦薄膜的橫向區域熔化再結晶的裝置和方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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