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半導體研磨廢水處理裝置

1587   編輯:中冶有色網   來源:深圳市芯愚公半導體有限公司  
2022-05-20 16:11:14
權利要求 1.半導體研磨廢水處理裝置,包括殼體,殼體上連通有進水管和投料管,其特征在于,所述殼體內設置有間隔分布的第一隔板和第二隔板,第一隔板和第二隔板將殼體內分為攪拌室和壓濾室,所述第一隔板固定安裝有連通攪拌室和壓濾室的帶有閥門的連通管,所述殼體上設置有伸入攪拌室內的攪拌組件,所述壓濾室內設置有與攪拌組件連接的壓濾組件。2.根據權利要求1所述的半導體研磨廢水處理裝置,其特征在于,所述攪拌組件包括安裝板,安裝板設置有多組且固定安裝在殼體上,安裝板上共同轉動安裝有曲軸,曲軸一端固定連接有位于安裝板上的旋轉動力件。 3.根據權利要求2所述的半導體研磨廢水處理裝置,其特征在于,所述攪拌組件還包括第一連桿,第一連桿設置有多組且滑動安裝在殼體上,第一連桿貫穿殼體側壁且一端伸入攪拌室內,第一連桿位于殼體內的一端固定安裝第一壓板,第一連桿遠離第一壓板的一端固定安裝有連接架。 4.根據權利要求3所述的半導體研磨廢水處理裝置,其特征在于,所述連接架設置為框型結構,第一連桿通過連接架與曲軸活動連接,且曲軸滑動安裝在連接架內。 5.根據權利要求4所述的半導體研磨廢水處理裝置,其特征在于,所述壓濾組件包括壓濾筒,壓濾筒設置有多組且固定安裝在第二隔板上,壓濾筒與壓濾室連通且壓濾筒位于第一壓板的投影位置上,壓濾筒一端伸出殼體。 6.根據權利要求5所述的半導體研磨廢水處理裝置,其特征在于,所述壓濾組件還包括第二連桿,第二連桿設置有多組且分別固定安裝在第一壓板上,第二連桿貫穿第二隔板且伸入到壓濾筒內,第二連桿遠離第一壓板的一端固定安裝有活塞件,活塞件外側面與壓濾筒內壁滑動連接。 7.根據權利要求6所述的半導體研磨廢水處理裝置,其特征在于,所述壓濾組件還包括安裝筒,安裝筒通過螺紋安裝在壓濾筒的末端,安裝筒位于壓濾筒內的一端固定安裝有多組間隔分布的安裝環,安裝環之間通過連接柱固定連接,安裝環上沿著流水方向依次固定安裝有濾網、活性炭過濾網和生物質膜。 說明書 半導體研磨廢水處理裝置 技術領域 本實用新型涉及廢水處理裝置技術領域,具體是半導體研磨廢水處理裝置。 背景技術 眾所周知,目前,半導體工業已經超過傳統的鋼鐵工業、汽車工業,成為了一種高附加值、高科技產業。半導體在進行加工時需要對其表面進
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