權利要求書： 1.一種直線電機，其特征在于，所述直線電機包括：
傳動軸(10)；
至少兩個驅動機構(20)，沿第一方向(X)并列且間隔設置，各所述驅動機構(20)均包括基座(21)、設于基座(21)上的定子(22)與導向組件(24)、以及與所述定子(22)配合的動子(23)，所述定子(22)用于驅使所述動子(23)沿第二方向(Y)線性運動，各所述動子(23)均與所述傳動軸(10)連接，所述導向組件(24)包括設于所述基座(21)上的導軌(241)、及沿所述第二方向(Y)滑動設于所述導軌(241)上的滑塊(242)，用于對所述傳動軸(10)沿所述第二方向(Y)的運動進行導向，所述滑塊(242)位于所述動子(23)沿與所述第二方向(Y)相交的方向的一側，所述第一方向(X)與所述第二方向(Y)相交；
其中，各所述驅動機構(20)還包括具有形變功能的緩沖件(25)，所述滑塊(242)通過所述緩沖件(25)與所述動子(23)連接。
2.根據權利要求1所述的直線電機，其特征在于，各所述動子(23)與所述傳動軸(10)之間均連接有第一安裝件(231)，所述滑塊(242)上設有與所述第一安裝件(231)間隔的第二安裝件(243)，所述緩沖件(25)連接于所述第一安裝件(231)與所述第二安裝件(243)之間。
3.根據權利要求2所述的直線電機，其特征在于，所述緩沖件(25)具有形變面(256)，所述形變面(256)覆蓋并連接于所述第一安裝件(231)與所述第二安裝件(243)的同一側。
4.根據權利要求3所述的直線電機，其特征在于，各所述驅動機構(20)還包括第一固定件(251)與第二固定件(252)，所述第一固定件(251)與所述第二固定件(252)分別用于將所述形變面(256)對應壓接在所述第一安裝件(231)與所述第二安裝件(243)上。
5.根據權利要求2所述的直線電機，其特征在于，在所述第一安裝件(231)與所述第二安裝件(243)之間的間隔方向上，所述緩沖件(25)的整體長度記為L1,所述緩沖件(25)在所述第一安裝件(231)和所述第二安裝件(243)之間懸空的部分長度記為L2，其中，3:5≤L2：L1≤5:7。
6.根據權利要求2所述的直線電機，其特征在于，所述緩沖件(25)包括主體(253)及連
聲明：
“直線電機及半導體制備系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：東莞聯鵬智能裝備有限公司
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2025年07月24日 ~ 26日 
